东微电子重大突破 自研光刻机核心零件通过中芯国际、长鑫存储认证
zhiyongz
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2025-08-07 11:05:51
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快科技8月7日消息，日前，河南东微电子材料有限公司（以下简称"东微电子"）宣布，其自主研发的光刻机用直线电机、光源、光纤、磁座等关键零部件，正式通过中芯国际和长鑫存储严格认证。东微电子表示，这不仅是一次技术突破，更是中国半导体产业链国产化进程中迈出的坚实一步。据了解，2021年12月，国家五部门联合发布的《重大技术装备和产品进口关键零部件、原材料商品目录（2021年版）》明确将光刻机用直线电机列为关键“卡脖子”项目，直线电机的制造和生产技术对我国打破国外光刻机技术垄断具有重要意义。
东微电子重大突破 自研光刻机核心零件通过中芯国际、长鑫存储认证
面对技术封锁，东微电子组建技术攻坚团队，历经多年研究，对光刻机用关键零部件的特殊性能指标、极端使用环境和精密制备工艺发起全面攻关，对标国际顶尖，解决国产痛点。
东微电子重大突破 自研光刻机核心零件通过中芯国际、长鑫存储认证
据介绍，直线电机是光刻机运动平台的核心零部件。光刻机需将电路图案以纳米级精度“雕刻”在硅片上，直线电机直接驱动工作台和掩模台进行高速、超精密直线运动，其性能决定了定位精度和运动稳定性。随着芯片制程进入纳米时代，传统旋转电机+传动机构的方式已难以满足，直线电机凭借直接驱动、无机械损耗、响应快、精度高等优势成为唯一选择。
高端光刻机用直线电机技术门槛极高，国内市场严重依赖进口。东微电子官网显示，公司于2018年落户河南省郑州市航空港实验区，并在上海、北京、无锡、厦门等地设有研发生产基地。公司致力于成为高端集成电路制造用材料和设备零部件一站式服务平台，为中国半导体解决“卡脖子”难题。
东微电子重大突破 自研光刻机核心零件通过中芯国际、长鑫存储认证
【本文结束】出处：快科技
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