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世界最先进EUV光刻机开工!Intel已产3万块晶圆 14A工艺就用它
快科技2月26日消息,ASMLTwinscanEXE:5000EUV是当今世界上最先进的EUV极紫外光刻机,支持High-NA也就是高孔径,Intel去年抢先拿下了第一台,目前已经在俄勒冈州FabD1晶圆厂安装部署了两台,正在紧张地研究测试中。Intel资深首席工程师SteveCarson...
硬件
2025-02-26
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