三波知识百科

快科技9月7日消息，Intel公司今年将量产18A工艺，这是他们四年五代工艺中的关键一环，而且该工艺会持续改进，一直用到2030年。18A下一代工艺就是14A了，这一代还会用上High NA EUV光刻机，也就是ASML公司的Twinscan NXE:5000系列，NA提升到0.55，分辨率更高，是2nm节点以下的关键设备。相比当前EUV光刻机每台2亿美元的价格，Twinscan NXE:5000的价格也上天了，每台售价4亿美元以上，差不多30亿rmb一台，非常烧钱。正因为此...

快科技8月17日消息，据国内媒体报道，近日，全国首台国产商业电子束光刻机在杭州“出炉”，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。在杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地测试现场，一台模样酷似大型钢柜的机器正在做应用测试，电子显示屏上不断闪烁着实时参数。团队负责人表示，这不是普通的机器，而是一支能在头发丝上雕刻出整座城市地图的“纳米神笔”。依托省重点实验室，这台研究院自主研发的新一代100kV电子束光刻机“羲之”已正式投入市场。据了解，“羲之”取名自书...

快科技5月29日消息，近日，台积电重申，1.4nm级工艺技术不需要高数值孔径（High-NA）EUV光刻机，目前找不到非用不可的理由。台积电在阿姆斯特丹举行的欧洲技术研讨会上重申了其长期以来对下一代高NA EUV光刻设备的立场。该公司的下一代工艺技术，包括A16（1.6纳米级）和A14（1.4纳米级）工艺技术，不需要这些最高端的光刻系统。因此，台积电不会在这些节点上采用高数值孔径EUV设备。ASML惨了！台积电一句话太惊人 世界最先进EUV光刻机只卖了5台“人们似乎总是对台积...

快科技2月26日消息，ASML Twinscan EXE:5000 EUV是当今世界上最先进的EUV极紫外光刻机，支持High-NA也就是高孔径，Intel去年抢先拿下了第一台，目前已经在俄勒冈州Fab D1晶圆厂安装部署了两台，正在紧张地研究测试中。Intel资深首席工程师Steve Carson透露，迄今为止，两台EUV光刻机已经生产了3万块晶圆，当然不算很多，但别忘了这只是测试和研究使用的，并非商用量产，足以证明Intel对于新光刻机是多么的重视。Steve Carso...

快科技10月10日消息，ASML新任CEO近日公开表示，两台High NA EUV光刻机（单台设备的售价约为3.5亿美元）已经在英特尔安装完成了。作为目前全球最先进，也是最贵的光刻机，ASML宝石，High NA EUV光刻机不太可能像最初的EUV光刻机那样出现延迟。“我们只能期待它相对快速地推出和采用，因为High NA EUV光刻机更像是EUV光刻机的“升级款”，而不是一个全新的产品。”有趣的是，台积电以成本为由，迟迟不肯接受High NA。在外界看来，这有点像台积电的谈...

快科技6月30日消息，据媒体报道，台积电正全力以赴，加速安装对2nm工艺量产至关重要的EUV光刻机。为了满足这一高端生产需求，台积电计划在今明两年接收超过60台EUV光刻机，预计投资总额将超过123亿美元（折合人民币约894亿元）。随着ASML（阿斯麦）公司产能的持续扩大，预计到2025年，EUV光刻机的交付量将实现30%以上的显著增长。作为这一趋势的直接受益者，台积电正紧锣密鼓地准备迎接这一供应潮。据了解，ASML去年为满足市场需求已计划增产，预计今年将交付53台EUV光刻...

随着半导体工艺进入7nm以内，EUV光刻机是必不可少的关键设备，全球只有ASML公司能生产，现在NA 0.33孔径的EUV光刻机售价高达1.5亿美元，约合10亿一台，不过下一代会更贵。光刻机制造芯片的关键指标就是光刻分辨率，其中镜头的NA数值孔径越大越好，现在NA 0.33孔径的EUV光刻机能够量产3nm、2nm工艺，再往后就需要NA 0.55孔径的下一代光刻机，也就是High NA EUV，制造2nm以下的工艺必需。High NA EUV预计在明年开始出样机给客户，这一次I...

荷兰ASML（阿斯麦）是全球唯一的EUV光刻机制造商，中芯国际的7nm工艺虽然已经技术开发完成，但目前卡脖子的最关键一环就是买不到EUV。在最新的媒体交流活动中，ASML技术开发副总裁Tony Yen披露了一些EUV光刻机不为人知的细节。EUV即极紫外光刻，它是借助13.5nm波长极紫外光在硅晶圆上蚀刻数十亿规模的微缩结构。按照Yen的说法，当前ASML的EUV光刻机单台售价1.2亿美元(约合7.8亿元)左右，由超过10万个精密零部件组成。Yen笑着表示，买我们的EUV光刻机...

在本周召开的台积电技术研讨会上，最重要的中心信息之一是，该公司在半导体制造领域处于世界领先地位，特别是在领先的工艺技术领域。为进一步传达信息，台积电展示了一张幻灯片，指出了它与其他产品的相对位置：通过结合ASML的声明和自己的内部采购单，台积电预测他们已安装了全世界约约50％的激活EUV机器。除此之外，该公司还拥有约60％的EUV晶圆累计生产量。大型晶圆厂目前已知的公开EUV工艺包括TSMC的7+和N5，以及三星的7LPP（及以下任何产品），英特尔的EUV努力仅在明年进入其自...