EUV光刻机 - 三波网

快科技5月29日消息，近日，台积电重申，1.4nm级工艺技术不需要高数值孔径（High-NA）EUV光刻机，目前找不到非用不可的理由。台积电在阿姆斯特丹举行的欧洲技术研讨会上重申了其长期以来对下一代高NAEUV光刻设备的立场。该公司的下一代工艺技术，包括A16（1.6纳米级）和A14（1.4纳米级...

硬件
2025-05-30
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世界最先进EUV光刻机开工！Intel已产3万块晶圆 14A工艺就用它

快科技2月26日消息，ASMLTwinscanEXE:5000EUV是当今世界上最先进的EUV极紫外光刻机，支持High-NA也就是高孔径，Intel去年抢先拿下了第一台，目前已经在俄勒冈州FabD1晶圆厂安装部署了两台，正在紧张地研究测试中。Intel资深首席工程师SteveCarson...

硬件
2025-02-26
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27亿一台！ASML展示最新EUV光刻机内部画面：不怕被偷师嘛

快科技10月10日消息，ASML新任CEO近日公开表示，两台HighNAEUV光刻机（单台设备的售价约为3.5亿美元）已经在英特尔安装完成了。作为目前全球最先进，也是最贵的光刻机，ASML宝石，HighNAEUV光刻机不太可能像最初的EUV光刻机那样出现延迟。“我们只能期待它相对快速地推出和...

科学
2024-10-10
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台积电两年将接收至少60台EUV光刻机：投入超过123亿美元

快科技6月30日消息，据媒体报道，台积电正全力以赴，加速安装对2nm工艺量产至关重要的EUV光刻机。为了满足这一高端生产需求，台积电计划在今明两年接收超过60台EUV光刻机，预计投资总额将超过123亿美元（折合人民币约894亿元）。随着ASML（阿斯麦）公司产能的持续扩大，预计到2025年，EUV光...

科学
2024-06-30
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售价25亿的“电老虎” 下代EUV光刻机功耗飙到200万瓦

随着半导体工艺进入7nm以内，EUV光刻机是必不可少的关键设备，全球只有ASML公司能生产，现在NA0.33孔径的EUV光刻机售价高达1.5亿美元，约合10亿一台，不过下一代会更贵。光刻机制造芯片的关键指标就是光刻分辨率，其中镜头的NA数值孔径越大越好，现在NA0.33孔径的EUV光刻机能够量产...

科学
2022-09-28
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ASML揭秘1.2亿美元一台的EUV光刻机：10万零部件、配送时间两年

荷兰ASML（阿斯麦）是全球唯一的EUV光刻机制造商，中芯国际的7nm工艺虽然已经技术开发完成，但目前卡脖子的最关键一环就是买不到EUV。在最新的媒体交流活动中，ASML技术开发副总裁TonyYen披露了一些EUV光刻机不为人知的细节。EUV即极紫外光刻，它是借助13.5nm波长极紫外光在硅晶圆上...

科学
2021-03-17
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台积电买下市场上50%的EUV光刻机贡献了60%的产能

在本周召开的台积电技术研讨会上，最重要的中心信息之一是，该公司在半导体制造领域处于世界领先地位，特别是在领先的工艺技术领域。为进一步传达信息，台积电展示了一张幻灯片，指出了它与其他产品的相对位置：通过结合ASML的声明和自己的内部采购单，台积电预测他们已安装了全世界约约50％的激活EUV机器。除此之...

硬件
2020-08-28
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