国产自研芯片设备新突破！覆盖90-28nm：已交付头部晶圆厂
快科技7月30日消息，国产半导体设备厂商御微半导体近日宣布，全新自研的国内首款可完整覆盖90nm至28nm制程节点的掩模图形缺陷检测设备Raptor-600正式发运国内头部晶圆厂。掩模版是芯片光刻环节的核心母版，品质直接左右整片晶圆的生产良率，细微缺陷就可能造成整批晶圆报废。自2025年初初代机型Raptor-500交付后，御微只用520天就完成了从立项到出机的全流程。Raptor-600针对28nm及以上制程的严苛检测标准，为单价数万至数十万美元的高端掩模版筑牢品质防线。国...