100%自主可控！国产350nm光刻机拿下批量订单：从验证到交付只用了9个月
快科技8月28日消息，芯上微装近日宣布，其自主研发的350nm步进投影光刻机AST6200顺利通过国内化合物半导体领域头部客户全流程工艺验证，并斩获批量重复采购订单。从2025年11月首台设备发运到2026年8月获批量订单，仅用时9个月。该设备从关键零部件到软件控制系统均实现100%自主可控，标志着国产光刻机在化合物半导体专用设备领域迈出关键一步。100%自主可控！国产350nm光刻机拿下批量订单：从验证到交付只用了9个月AST6200定位化合物半导体专用步进光刻机，稳定实现...